Диагностика поверхности ионными пучками на ускорительном комплексе

В докладе рассматриваются реализованные на базе ускорительного комплекса ФЭИ методы диагностики поверхности при помощи пучков протонов, дейтронов, ионов ³He, ⁴He и ¹²С. По типу взаимодействия ускоренных пучков с ядрами поверхности эти методы включают в себя резерфордовское и нерезерфордовское упругое рассеяние (RBS и EBS), анализ по продуктам ядерных реакций (NRA) и по ядрам отдачи (ERDA), по мгновенному гамма-излучению (PIGE) и по рентгеновским лучам (PIXE). Обсуждаются методические усовершенствования, приводятся примеры элементного анализа полупроводниковых структур и реакторных материалов, исследований накопления и миграции изотопов водорода в металлах, массопереноса в термоядерных установках, аттестации тонких мишеней, используемых в ядерно-физических экспериментах. Представлены результаты измерений и оценки дифференциальных сечений, необходимых для извлечения профилей концентрации искомых элементов из измеренных спектров. Обсуждается современное состояние разработанной под эгидой МАГАТЭ библиотеки экспериментальных данных по сечениям IBANDL и калькулятора оцененных сечений SigmaCalc.