Прогнозирование зоны эрозии планарных магнетронов / Низкотемпературное нанесение тонких пленок B4C обогащенного изотопом 10B

Семинары

Научно-методический семинар ЛФВЭ #14

Дата и время: четверг, 21 ноября 2019 г., в 11:00

Место: корпус 215, к. 347, Лаборатория физики высоких энергий им. В.И. Векслера и А.М. Балдина

  1. «Прогнозирование зоны эрозии планарных магнетронов»

    Авторы: A.Г. Колесников1, Н.В. Горбунов2, Ю.А. Крюков1, Т.А. Смолянин1

    1 — Государственный университет «Дубна», Дубна, Россия
    2 — Объединенный институт ядерных исследований

    Докладчик: Тимофей Смолянин

    Аннотация:

    Прогнозирование формы выработки мишени при магнетронном распылении имеет важную практическую значимость для эффективного использования материала мишени и получения однородных слоев пленок. Предложен метод прогнозирования эрозии мишени магнетронных распылительных систем, который основан на предположениях прямой связи величины Bx составляющей вектора B магнитного поля, параллельной плоскости мишени, с эффективностью ионизации атомов рабочего газа и уменьшения плотности процессов ионизации пропорционально ослаблению магнитного поля. При этом границы и форма he(x) эрозионной области определяется косинусом угла между B и Bx, а форма эрозионной канавки he(x) определяется распределением Гаусса для отношения Bx/B относительно среднего значения равного единице. Практическая реализация основана на программном комплексе моделирования и расчета физических полей методом конечных элементов ELCUT, формирующем выходные матрицы вектора B индукции и его компонентов. Для определения формы профиля эрозии разработана программа вычислений на основе MATLAB.

  2. «Низкотемпературное нанесение тонких пленок B4C обогащенного изотопом 10B»

    Авторы: A.Г. Колесников1, Н.В. Горбунов2, Ю.А. Крюков1, Т.А. Смолянин1, А.Х. Абдуев3, А.К. Ахмедов3, С.А. Куликов1, А.В. Чураков2

    1 — Государственный университет «Дубна», Дубна, Россия
    2 — Объединенный институт ядерных исследований
    3 — Дагестанский государственный технический университет

    Докладчик: Колесников Алескандр Георгиевич

    Аннотация:

    Из-за существующего дефицита 3He и связанного с этим огромного увеличения его цены все больший интерес представляет поиск создания новых концепций обнаружения нейтронов на основе твердотельных 10B конвертеров на базе карбида бора B4C. Эти концепции требуют отработки методов осаждения тонкой пленки 10B4C с целью получения высокой адгезии, однородности толщины пленки и химической чистоты пленки на основаниях большой площади для использования в качестве конвертера. Мы сообщаем об осаждении методом магнетронного распыления при температурах до 200˚С однородных слоев 10B4C толщиной до 2 мкм на алюминиевые листы 0,5 мм с высокой адгезией к основанию. Нанесение выполняется с предварительной ионной очисткой листов и напыления при ионном ассистировании подслоя алюминия, переходного слоя 10B4C с постепенным уменьшением концентрации алюминия и основного слоя 10B4C.

Онлайн-трансляции ЛФВЭ